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阻断半导体 CMP 研磨液输送脉动漂移:硅胶管的剪切应变疲劳与管壁抗屈曲机制解析

silicone-tubing-shear-fatigue-anti-buckling

在现代半导体晶圆制造(Fab)的化学机械平坦化(CMP)制程、高阶点胶设备以及生医自动化流体系统中,流体传导路 […]